日本HORIBA/SEC-E40質量流量控制器的產品詳情：

日本HORIBA STEC E40MK3/E50MK3流量控制器是在未改變質量的品質特性條件下實現成本降低的量產產品。材質和泄漏規(guī)格則與一般型號產品的SEC-400、SEC-500系列一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據重點關注于重復性以及限定氣體的種類、流量進行大量生產、實現了大幅度的成本降低。適合于定流量、長時間的穩(wěn)定控制重復控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。

日本HORIBA/SEC-E40質量流量控制器的規(guī)格參數：

更多產品：

SEC-Z500X多量程/多氣體數字流量控制器

高精度 ±1.0% 設定點

該流量控制器的線性度由多項式近似曲線補償，并實現在流量控制范圍內的高精度。為提高實際氣體精度，不同工藝氣體的標定數據由 HORIBA STEC 公司的標準氣體測量系統(tǒng)測量。

高速響應

裝配“可變PID系統(tǒng)"，可在任意兩個設定點之間實現1秒響應。可變PID根據流量點設置不斷變化。在滿量程流量和氣體發(fā)生變化時優(yōu)化PID系數。

多氣體/多量程解決方案

配置軟件可以快速方便更改規(guī)格。一個重要特征是無需從氣體控制面板或管道上拆除流量控制器，即可進行更改。減少所需備用流量控制器的數量，節(jié)省時間和成本。

SEC-Z500X 流量控制器適用于各種應用以及半導體制造。

HORIBA堀場_流量計&配件_SEC-E40/E40MK3、SEC-E50/E50MK3、SEC-E400X、SEC-E500

HORIBA堀場_流量計&配件_SEC-405/410、SEC-510、SEC-400MK2/MK3、SEC-500MK2/MK3

HORIBA堀場_流量計&配件_MF-CP10N、MF-CP10N（50-100LM）、MF-CS10N、MF-CS10N（50LM）

HORIBA堀場_流量計&配件_S48-32、S48-28、SEC-N102MGM（MGR）、SEC-N104MGM（MGR）

HORIBA堀場_流量計&配件_SEC-N105MGM（MGR）、SEC-N106MGM（MGR）、SEC-N107MGM（MGR）、SEC-N170R

HORIBA堀場_流量計&配件_SEC-Z502X、SEC-Z502MGX、SEC-Z504MGX、SEC-Z507MGX

HORIBA堀場_流量計&配件_SEC-8400F AMB,MM,MH、HL.HM、SEC-8400D AMB,MM,MH、HL.HM

HORIBA堀場_流量計&配件_SEC-Z707S、SEC-Z702MGX、SEC-Z704MGX、D502

HORIBA堀場_流量計&配件_D504、D507、red-y industrial GIC

HORIBA堀場_流量計&配件_PE-D10、PE-D20、PE-S7、ＣＵ-2130

HORIBA堀場_流量計&配件_ＣＵ-2140、MU-2200 、MU-2200 、MU-3000

HORIBA堀場_流量計&配件_MF-FP10N、MF-FS10N、MF-FA10N、（500L/min/1000L/min）

HORIBA堀場_流量計&配件_red-y compact Series、GCM、GCR、PV-1000（MO/MC）

HORIBA堀場_流量計&配件_PV-2000（MO/MC）、PCU-2100、EC-5104、EC-5105

HORIBA堀場_流量計&配件_EC-5202、UR-Z7□2M（-B）、UR-Z7□4M（-B）、GR-312F

HORIBA堀場_流量計&配件_GR-314F、GR-317F（-EPV）、 LD05/LD10/LD20、 LW5/LW10/LW20

HORIBA堀場_流量計&配件_ LM05/LM10、 LM05W/LM10W、XF-122 XF-127、XF-132 XF-137

HORIBA堀場_流量計&配件_XF-124、XF-134、LF-F□0M-A、LV-F□0PO LV-F□04PO

HORIBA堀場_流量計&配件_LV-F□0MO LV-F□04MO、LSC Series、VC-1420＋SEF、MV-2000+XF

HORIBA堀場_流量計&配件_VG Series、MICROPOLE System、QL Series、QL Series

HORIBA堀場_流量計&配件_IR-302M、IR-304M、IR-305M、IR-400 Series

HORIBA堀場_流量計&配件_RU-1000、TE-1100、OPGU-2100、OPGU-2200

HORIBA堀場_流量計&配件_OPGU-7100、OPGU-7200、SGD-SC 0.5L/5L、SGD-710C

HORIBA堀場_流量計&配件_SGPU Series、SF-1U/2U、VP-1U/2U/3U/4U、PS-SF-100C

HORIBA堀場_流量計&配件_EV-140C、IT-470F-H

• LF-F20M-A液體質量流量計