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HORIBA/堀場SLIA-300二氧化硅分析儀/濃度計，滿足以 0.01µg/L (0.01 ppb) 的較高靈敏度測量超低密度二氧化硅的客戶需求，采用了一種新的“長光路徑長度測量單元”，能夠?qū)Τ兔芏榷趸柽M行高靈敏度測量，同時還提供緊湊的桌面型號，以提高實用性。該產(chǎn)品具有自診斷等一系列標準功能以及高速響應(yīng)和高靈敏度等新的性能改進，為半導(dǎo)體生產(chǎn)制程中的純水工藝提供了更強的支持。

HORIBA/堀場SLIA-5000二氧化硅分析儀，二氧化硅（SiO2）的管理對于防止水垢的形成至關(guān)重要。這是因為渦輪機中存在的水垢會降低發(fā)電效率，尤其是對火力發(fā)電廠和核電廠，用于測量鍋爐水和純水中的微量二氧化硅。